瀚高中聯(lián)超純水設(shè)備：為半導(dǎo)體制造筑牢水質(zhì)“芯”防線
瀚高中聯(lián)超純水設(shè)備：為半導(dǎo)體制造筑牢水質(zhì)“芯”防線
在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向高精度、高良率方向快速升級的背景下，高純水已成為芯片制造過程中的重要組成部分，其水質(zhì)純度直接決定芯片的性能與產(chǎn)品合格率。隨著半導(dǎo)體制造工藝的持續(xù)迭代，行業(yè)對高純水的純度、穩(wěn)定性提出了更為嚴(yán)苛的要求，高純水設(shè)備已成為滿足該類需求的核心支撐。山東瀚高中聯(lián)推出的半導(dǎo)體行業(yè)適配型高純水設(shè)備，可充分匹配行業(yè)需求，為半導(dǎo)體制造筑牢水質(zhì)保障防線。
半導(dǎo)體制造工藝較為復(fù)雜，晶圓清洗、蝕刻、光刻等核心生產(chǎn)環(huán)節(jié)均需大量高純水參與，對水質(zhì)有著嚴(yán)苛要求，具體標(biāo)準(zhǔn)為電阻率≥18.2MΩ·cm（25℃）、TOC＜10ppb，微粒、離子及有機物含量趨近于零。當(dāng)前芯片線路寬度已進入納米級別，水中細微雜質(zhì)殘留易導(dǎo)致電路短路、芯片缺陷等問題，進而影響產(chǎn)品良率，因此高純水設(shè)備的性能與穩(wěn)定性尤為關(guān)鍵。
該高純水設(shè)備采用“預(yù)處理+反滲透+EDI除鹽”三級處理工藝。預(yù)處理去除原水中懸浮物、膠體等雜質(zhì)，；反滲透環(huán)節(jié)采用進口脫鹽率反滲透膜，截留水中鹽類、重金屬離子等，脫鹽率高，產(chǎn)出初級純水；EDI除鹽環(huán)節(jié)無需化學(xué)再生，可避免再次污染，產(chǎn)出符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的高純水。
該設(shè)備配備智能控制系統(tǒng)及完善的監(jiān)測體系，可實時監(jiān)測水質(zhì)關(guān)鍵參數(shù)，當(dāng)參數(shù)出現(xiàn)異常時，可自動發(fā)出預(yù)警并進行調(diào)整，實現(xiàn)設(shè)備自動化運行與調(diào)控。同時，設(shè)備采用模塊化設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊，便于安裝與維護，可根據(jù)半導(dǎo)體企業(yè)的實際產(chǎn)能需求，調(diào)整處理量，適配不同規(guī)模的生產(chǎn)場景。此外，設(shè)備通過工藝優(yōu)化設(shè)計，有效降低能耗與水資源消耗，契合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)綠色發(fā)展趨勢，可為企業(yè)提供連續(xù)的高純水供應(yīng)，助力企業(yè)提升生產(chǎn)效率與產(chǎn)品良率。
